看一看：博世力士乐集成测量系统IMS-A深度解析（一）-博世力士乐

图1绝对丈量系统IMS-A直线位置丈量系统肯定机器中运动部件的位置，将此信息提供给机电的控制单元，反馈回路实现电驱动的精确位置控制。丈量系统是1台机器的核心部件北京遗产继承律师，其性能对整台机器的表现具有重大影响。博世力士乐开发的IMS-A绝对式集成丈量系统，与导轨系统完全集成（图1）。系统得电后无需回零便可即时得到位置，同时该产品无需电池。编码器系统为感应式原理，重复精度±0.25µm，刻尺精度3µm/m，丈量精度可与光栅尺媲美。图1(上)为集成导轨的IMS-A丈量系统。读数头牢固安装于滑块上并与之共同沿导轨运动。图1(下)的爆炸图中可以看到在导轨上滚道之间的侧面上集成有绝对与增量刻尺，并且通过激光焊接金属密封带来避免污染和破坏。感应传感器

图2显示了增量感应传感器的结构示意图。类似于变压器非接触工作原理，励磁线圈由1台发机电提供1个高频交换电，解析电路来记录接收线圈中产生的感应电压。

图2感应传感器概念基础结构

（1）增量刻度（2）感应平面线圈带（3）励磁线圈（4）接收线圈对丈量系统中的感应传感器，在接收线圈中的感应电压值可通过刻尺上的刻度条取得。刻度条在刻尺上以1000µm间距均布（见图2）。调制深度取决于以恒定速度相对运动的刻度条在磁场回路中的位置，而后产生1个周期为1000µm近似正弦的振幅曲线。通过两组相互错位1/4周期布置的接收线圈，传感器相对刻尺的位置和运动方向都得以肯定。如图2所示，将带有多个接收线圈的平面线圈传感器沿运动方向散布，可得到正弦和余弦信号。1方面，对线圈组中所有线圈的解析，提高了信号电平和信噪比。另外一方面，传感器在丈量方向上的散布方式将单个信号平均处理，进1步改良了信号的质量，从而抑制并几近拉平了线圈范围内的高精度刻度条的局部不规则性。为了制造尺寸符合要求的传感器，平面线圈的导体路径使用特殊的制造工艺来生产，使导体路径能够通过结构化构成，并且允许多层组成结构。而为了确保励磁线圈中具有相同的电流，保证线圈磁通密度的均匀和对称性，博世力士乐设计了曲折结构情势的电感式传感器的励磁绕组（如图3所示）。在传感器中的所有区域提供完全相同的鼓励电流，而不受线路电阻的波动影响。这就保证了所有接收器线圈中有非常均匀的磁场鼓励，意味着在线圈组内不会出现不对称性。

图3示意图:

（1）第1层激起折曲，（2）第2层激起折曲，（3）叠加接收线圈位于阴影区的鼓励结构，（4）电流的方向和横截面的磁通量当电感式传感器以单位刻度的恒定速度移动，则如上所述，感应信号的幅值将被调制为正弦曲线，周期为1000µm。调制的质量非常高离婚律师，1部份归功于前述传感器的特殊设计。由博世力士乐开发的自适应信号校订进程做支持，传感器刻度的相对位置可以通过内插丈量信号来肯定，偏差小于±0.75µm。该量度被称为插值精度。由于电感式传感器采取高频交变磁场，所以位置肯定能抵抗来自静态磁场和电磁干扰的影响，例如直线机电可能酿成的干扰。同时，材料的剩磁对电感丈量原理没有影响，这就是为何它不像传统的磁丈量原理1样，位置信号的的丈量完全没有滞后。

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